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純金屬靶材
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規(guī)格
●根據客戶要求定制
制備工藝
●采用電子束熔煉、軋制、機加工等工藝流程，用超聲波清洗機進行清洗，最后真空包裝。
典型成分分析(Purity≥3N)
| Elements | Max ppm, wt | Elements | Max ppm, wt | Method of Analysis |
| Hf+Zr | >99.9 | Zr | 0.26 wt% | ICP |
| Al | <10 | Cu | <10 | GDMS |
| Ca | 24 | Fe | 25 | GDMS |
| Cd | <1 | Mg | <10 | GDMS |
| Co | <5 | Mn | <10 | GDMS |
| V | <10 | Ni | <10 | GDMS |
| W | <10 | P | <5 | GDMS |
| Nb | <30 | Cr | <5 | GDMS |
| C | 24 | N | 12 | LECO |
| O | 320 | LECO |
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